HONEYWELL TK-PRS021 51404305-375 
遇事无难易，而勇于敢为。——欧阳修《尹师鲁墓志铭》 
混合式步进电机是指混合了永磁式和反应式的优点。它又分为两相和五相：两相步进角一般为1.8度而五相步进角一般为 0.72度。这种步进电机的应用**为广泛，也是本次细分驱动方案所选用的步进电机。 
步进电机的一些基本参数：
电机固有步距角：
它表示控制系统每发一个步进脉冲信号，电机所转动的角度。电机出厂时给出了一个步距角的值，如86BYG250A型电机给出的值为0.9°/1.8°（表示半步工作时为0.9°、整步工作时为1.8°），这个步距角可以称之为‘电机固有步距角’，它不一定是电机实际工作时的真正步距角，真正的步距角和驱动器有关。
CLX-2500 Comdel FO1336R2 RF Generator AMAT 0190-02702
Liebert SCC020C-4 Datawave 1 Magnetic
ADTEC AX-2000EUII-N RF 27-286651-00
Lam Research 852-014681-583 RF OEM-650A
Liebert SCC030C-4
Liebert CAA030C4 30 KVA
RF APEX 1513 AE 0190-31898-000 RF 3156110-205
MDX AE Advanced Energy 2224-024
Semilab WT-85
Fujikin Incorporated WVG-S2-Y-I38
Fujikin Incorporated WVG-S2-Y-I35
ADTEC AXR-2000III RF 27-360919-00
Lam Research 853-11478R002-1 DSQ RF
Lam Research 853-025903-001-2-C117 Lo-FAT